Herstellung von Silizium-Mikroplättchen

Bei der Herstellung von Silizium-Mikroplättchen sind Polier-, Ätz- und Reinigungsverfahren wesentliche Prozessvorgänge. Hierbei können explizit nur Kunststofflager eingesetzt werden.

Empfehlung

PE-A
Werkstoffe für den Innen- und Außenring,  sowie das Kugelmaterial

 

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